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第一千六百六十七章 光刻胶的国产突围

第一千六百六十七章 光刻胶的国产突围 (第2/2页)

“控制程序可以把升温分成六段,降低热冲击。”
  
  “程序能调热,调不了材料。”
  
  “材料能改,程序也得跟上。”
  
  “你们中国人总想把所有问题塞进程序。”
  
  方志远转身看他。
  
  “程序至少不会把同一批材料烧三次。”
  
  伊万抬手把扳手砸在桌面上。
  
  啪!
  
  房间里的人都停了手。
  
  李山河从门口走进来,捡起扳手放回桌上。
  
  “谁砸坏东西,谁赔。”
  
  伊万盯着他。
  
  “他们不懂材料。”
  
  “你也不懂控制程序。”
  
  “我懂炉子。”
  
  “炉子听谁的?”
  
  伊万没有回答。
  
  李山河把三张检测报告摊开。
  
  “你们继续吵,外面的人就会继续等,富士通等着我们缺芯片,东亚化成等着我们回头求他们,山河通信的订单等着交货。”
  
  陈守仁拿起第三组样片。
  
  “我建议换底材。”
  
  高桥摇头。
  
  “现有晶圆不能换,KM155的基底尺寸已经定了。”
  
  方志远盯着曲线。
  
  “那就换封装温度,先让芯片避开最高温段。”
  
  伊万拿起一块废片。
  
  “避开高温,材料永远过不了高温测试。”
  
  李山河看向他。
  
  “你有办法?”
  
  “把底材表面做一层过渡膜。”
  
  高桥立即问。
  
  “用什么?”
  
  “军用涂层里的硅氧烷。”
  
  陈守仁皱眉。
  
  “会影响线路刻蚀。”
  
  “先薄涂,再做等离子清洗。”
  
  方志远接话。
  
  “程序增加预热停留,给过渡膜释放时间。”
  
  高桥拿起笔。
  
  “我去改电源曲线。”
  
  陈守仁抱起样片。
  
  “我去重做底材。”
  
  方志远转身打开控制柜。
  
  “我改程序。”
  
  李山河看向伊万。
  
  “你呢?”
  
  “我要一瓶酒。”
  
  “干完活给你。”
  
  “现在要。”
  
  “先干活。”
  
  伊万抄起白大褂披在身上。
  
  “那就两瓶。”
  
  半个月里的第十三天,第四炉从清晨烧到夜里。
  
  炉温升到三百度,记录笔贴着纸面移动,曲线没有乱跳,观察窗里的晶圆边缘保持平整。
  
  陈守仁盯着检测屏。
  
  “线路还在。”
  
  高桥把手搭在电源柜上。
  
  “电流稳定。”
  
  方志远盯着程序界面。
  
  “温度补偿没有介入。”
  
  伊万拿着夹具守在炉门旁。
  
  “继续升温。”
  
  陈守仁抬头。
  
  “三百二十度已经超过测试上限。”
  
  “继续。”
  
  李山河站在记录台边。
  
  “升。”
  
  炉温数字一路跳到三百四十,晶圆表面泛出细白的光,胶层没有起泡,边缘也没有卷曲。
  
  高桥把手里的笔放下。
  
  “可以开炉了。”
  
  伊万摇头。
  
  “再等五分钟。”
  
  “你想把它烧坏?”
  
  “我想知道它能撑多久。”
  
  陈守仁盯着他。
  
  “材料测试要按流程来。”
  
  “流程是人定的。”
  
  “结果也得让人认。”
  
  李山河抬手。
  
  “再等五分钟。”
  
  伊万看了他一眼,回头盯住炉内。
  
  五分钟后,电源切断,炉门拉开,热气冲过走廊,陈守仁用夹具取出晶圆,边缘完整,表面没有裂纹。
  
  方志远把晶圆放进测试座。
  
  灯光亮起,第一组线路导通,第二组线路导通,整片芯片的逻辑信号沿着测试板跑了一圈。
  
  滴,滴,滴。
  
  高桥抓住记录纸。
  
  “数据稳定。”
  
  陈守仁把测试针移到另一组触点。
  
  “再测一遍。”
  
  “已经测了三遍。”
  
  “再测。”
  
  第三遍结果没有变化。
  
  伊万伸手拿过检测表,从头读到尾,抬起头时,眼里的疲倦压不住了。
  
  “这只是小样。”
  
  “可它活着。”
  
  “还要做大样。”
  
  李山河从桌下拎出两瓶二锅头,放到他面前。
  
  “你的酒。”
  
  伊万抱起酒瓶,没有立刻打开。
  
  “配方署名怎么写?”
  
  “中方负责工艺统筹,苏方负责树脂体系,日方负责电源和设备适配。”
  
  “我的名字排第二?”
  
  “你想排第一?”
  
  伊万把瓶盖拧开。
  
  “我排第二。”
  
  高桥伸手拿起另一瓶。
  
  “我也要一杯。”
  
  伊万看向他。
  
  “你会喝?”
  
  “我喝过威士忌。”
  
  “那不算酒。”
  
  陈守仁把搪瓷缸推过去。
  
  “先把这一炉数据写完,晚上再喝。”
  
  伊万接过缸子。
  
  “陈,你像个管教犯人的老头。”
  
  “你像个拆房子的野人。”
  
  方志远在旁边笑出声。
  
  高桥也把嘴角抬了起来。
  
  李山河拿起那片合格晶圆,放进透明盒。
  
  “这批材料命名为山河一号光刻胶,马上做三班连续测试,陈守仁负责量产参数,高桥负责电源和设备改造,方志远负责封装控制程序,伊万负责配方。”
  
  “我要自己的实验间。”
  
  “给你。”
  
  “门要能锁。”
  
  “给你。”
  
  “钥匙只能有两把。”
  
  “你一把,我一把。”
  
  “第三把呢?”
  
  “陈守仁保管。”
  
  伊万看着他。
  
  “你不信我?”
  
  “我信你会把实验室烧了。”
  
  伊万喝了一口酒。
  
  “那你还让我来?”
  
  “因为你能把它做出来。”
  
  研发楼外,韩建国抱着一摞文件跑进来。
  
  “李总,刚收到的电报。”
  
  “说什么?”
  
  “东亚化成停止供应,富士通向邮电部递交了新的投诉,指山河通信使用了未经授权的封装工艺。”
  
  李山河接过电报,看完递给陈守仁。
  
  “他们动作倒快。”
  
  伊万把酒瓶放到桌上。
  
  “日本人要来抢配方?”
  
  “他们会先告我们,再买我们,最后想办法让我们买不到设备。”
  
  “那就把配方卖给他们。”
  
  高桥脸色变了。
  
  “你疯了?”
  
  伊万抬头。
  
  “卖一份给他们,换十份原料。”
  
  李山河看着他。
  
  “山河一号不卖。”
  
  伊万举起酒瓶。
  
  “那就让他们看着我们做第二号。”
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