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第359章 林决:不用适应,现在我手里已经有个方案了

第359章 林决:不用适应,现在我手里已经有个方案了 (第1/2页)

谷方绪微微叹气,
  
  “是的。”
  
  “具体问题呢?”
  
  林决转头看了谷方绪一眼,继续问。
  
  “目前核心短板是初期污染控制,团簇均匀分散,RLS协同控制。”
  
  林决点了点头,找到相关的工程日志看了看。
  
  然后便发现。
  
  很多试样曝光时,锡挥发会产生严重超标。
  
  这样的情况出现后,会持续污染上游多层反射镜和PelliCle保护膜。
  
  但如果将这种情况控制住,材料灵敏度和粗糙度又会同时变差。
  
  属于是一根筋两头堵的难点。
  
  见状,谷方绪继续说道,
  
  “除此之外,上游高产有机配体,底层反射层整套配套链条也不完善......
  
  我们毕竟缺少真实EUV整机长期的工况验证平台,所以目前只能做短时间模拟曝光,难以验证晶圆连续晶圆体连续加工稳定性......”
  
  说话间,林决已经快速阅览好几个文件。
  
  “好的,具体情况我下来再看看。”
  
  林决说着,将文件拿起放在腋下,然后伸出手,
  
  “谢了谷教授,希望我们能共同进步,将这个难关彻底突破!”
  
  谷方绪看了看眼前这个少年还略显稚嫩,但却充满了自信的脸庞,心中不禁泛起些许涟漪。
  
  “那好!共同进步!”
  
  说罢,两人紧紧握手。
  
  恍惚间,谷方绪好像产生一种,新老时代交替的错觉。
  
  “好了谷教授,我先回去了,你们忙吧。”
  
  “好的。”
  
  看着林决离去的背影,谷方绪在原地驻足良久。
  
  说实话,谷方绪搞科研这么多年以来,其实早就不怎么吃压力了。
  
  但看着那个背影,他却没由来感觉,自己老项目组,很可能会被对方当减速带碾压过去的错觉......
  
  不过......
  
  即使有这种感觉,但谷方绪对林决却并未有厌恶之感。
  
  相反,从最私心的角度来讲。
  
  他可能是整个光机所,最希望林决能在此途成功的人了......
  
  因为就算冯宴教授回国。
  
  可能在材料方面的进步,前进也是有限的。
  
  但林决呢......
  
  在谷方绪印象中,他总创造一些让人为之惊叹的奇迹!
  
  冯教授能够保证下限。
  
  但林决,却让人觉得上限能够无限拔高......
  
  给我证明吧林决,这是你的时代!
  
  .............
  
  而在接下来的两天。
  
  光机所自下而上的所有机构,仿佛是启动了紧急事故一般。
  
  相关的资金人手,立马给林决安装到位!
  
  另一边。
  
  北大物院。
  
  许渊也是听闻了这个消息。
  
  “这小子......咋又跑到材料学的领域蹦哒了?”
  
  虽然语气中带着些许埋怨,但老许脸上那股子骄傲劲儿是藏不住的。
  
  “算了,别把人材料领域的人吓到了,到时候跑来找我算账咧......”
  
  而在数院方面。
  
  江维汉在得知消息后,并未有丝毫意外。
  
  之前他就听周清源说过,林决最近一段时间,老是抱着高端材料相关的学术论文看着。
  
  江维汉并未认为,林决是因为对这方面感兴趣去做的拓展。
  
  毕竟如果只是感兴趣的话,根本不用着看一些领域涉及极深的知识点,点到为止即可。
  
  除此之外。
  
  关于冯宴教授的消息,目前已经能够确定的是......
  
  他已经被那边官方监视,之后可能还要面临诉讼案件,反正就是变着法恶心人。
  
  如此一来。
  
  至少冯教授短在时间内,肯定是无法离开牢美了。
  
  而更加证明这一点的是......
  
  

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